空氣過(guò)濾器效率等級(jí)和DOP檢測(cè)

什么是空氣過(guò)濾器的效率呢？過(guò)濾器捕集粉塵的量與未過(guò)濾空氣中的粉塵量之比為“過(guò)濾效率”。不同作業(yè)環(huán)境所要求的潔凈等級(jí)不同，所以要采用不同效率的過(guò)濾器和相當(dāng)?shù)男嘛L(fēng)量才能滿足不同的潔凈度等級(jí)要求。

在決定過(guò)濾效率的因素中，粉塵“量”的含義多種多樣，由此計(jì)算和測(cè)量出來(lái)的空氣過(guò)濾器效率數(shù)值也就不同。實(shí)用中，有粉塵的總重量、粉塵的顆粒數(shù)量；有時(shí)是針對(duì)某一典型粒徑粉塵的量，有時(shí)是所有粉塵的量；還有用特定方法間接地反映濃度的通光量（比色法）、熒光量（熒光法）；有某種狀態(tài)的瞬時(shí)量，也有發(fā)塵全過(guò)程變化效率值的加權(quán)平均量。因此,對(duì)同一只過(guò)濾器采用不同的方法進(jìn)行測(cè)試，測(cè)得的效率值就會(huì)不一樣,離開(kāi)測(cè)試方法，過(guò)濾效率就無(wú)從談起。

所以對(duì)不同的空氣過(guò)濾器應(yīng)分別采用不同的方法進(jìn)行檢測(cè),選擇空氣過(guò)濾器時(shí)不能只考慮空氣過(guò)濾器的效率還應(yīng)該了解其試驗(yàn)方法和試驗(yàn)塵。

隨著微電子工業(yè)的發(fā)展, 對(duì)高效過(guò)濾器要求越來(lái)越嚴(yán), 德國(guó)標(biāo)準(zhǔn)DIN24183率先提出"容易穿透粒徑

"(Most Penetrating Particle Size, 簡(jiǎn)稱(chēng)MPPS)法, 并采用容易穿透粒徑來(lái)檢測(cè)空氣過(guò)濾器的效率. 其實(shí)不同的濾料和不同的濾速容易穿透粒徑是不同的, 一般在0.11um-0.25um范圍內(nèi). 然后以此粒徑測(cè)試其效率或用于掃描實(shí)驗(yàn). MPPS是目前嚴(yán)格的試驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn), 具體測(cè)試一般采用DOP方法.

高效過(guò)濾器在檢漏結(jié)果的判定上，不同的標(biāo)準(zhǔn)也有所差異。美國(guó)IEST-RP-CC034規(guī)定C、. D級(jí)高效過(guò)濾器現(xiàn)場(chǎng)檢漏透過(guò)率0.3um，光度計(jì)掃描檢漏法）為0.01。歐盟EN1822規(guī)定檢漏測(cè)試只要被測(cè)過(guò)濾器的局部透過(guò)率不超過(guò)規(guī)定的局部值便為合格，H13 級(jí)高效過(guò)濾器對(duì)應(yīng)的局部透過(guò)率為0.25%，但要注意這里的透過(guò)率是以0.3um 單分散相DOP測(cè)試得出的。

DOP(鄰苯二甲二辛酯)法: 實(shí)驗(yàn)塵源為0.3um單分散相DOP液滴, 測(cè)量粉塵儀器為光度計(jì), 以氣樣的濁度差別來(lái)判定過(guò)濾器對(duì)DOP顆粒的過(guò)濾效率. 目前逐步采用大流量激光粒子計(jì)數(shù)器或凝結(jié)核計(jì)數(shù)器對(duì)過(guò)濾器整個(gè)出風(fēng)面進(jìn)行掃描檢驗(yàn).

附效率規(guī)格參照表:

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